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DSH系列探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款雙面探針臺(tái),最大可完成12英寸晶圓的正反面點(diǎn)針測(cè)試。
DCH系列高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在特殊環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備??梢詫?shí)現(xiàn)器件及材料表征的IV/CV特性測(cè)試,射頻測(cè)試,光電測(cè)試等。
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SPS-1000、SPS-2000 和 SPS-2200 系統(tǒng)是 美國(guó)MicroXac手動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探頭系統(tǒng)的高性能使其獨(dú)樹(shù)一幟。 憑借高達(dá) 200mm 的晶圓能力、直流或射頻探頭和可選的熱卡盤(pán)以及各種屏蔽選項(xiàng),我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用,例如故障分析、可靠性測(cè)試、IV/CV 測(cè)試、低電流測(cè)試以及微波和射頻表征等。
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