簡要描述:EMS 加熱板/烤膠臺(英文名:Hot Plate)又名烘膠臺,烤膠臺,加熱平臺,烤膠板,熱臺,熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅膜,磨片粘片熔臘等,它采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強了設備的安全性。
詳細介紹
采用單片機作為控制核心部件,有*jinque的控溫精度,緊湊美觀。該設備對一些溫度敏感材料(如晶體、半導體、陶瓷等)進行加熱和裝卡尤為適用。該設備結構簡單,操作簡便,安全可靠,是從事半導體熱處理、材料研究生產、溫度干燥試驗等*的工具。
產品特點:
加熱面積大,加熱均勻,升溫快;
采用微處理芯片jinque控制溫度,持續(xù)加熱,抗電磁干擾;
特殊防腐材料,耐腐蝕,使用壽命長;
設計美觀大方;
熱板表面材料:陽極氧化鋁
溫度加熱范圍:50℃到150℃(可升級到250℃)
溫度均勻性:工作界面上±1%
適用基片尺寸:10mm~150mm
配置真空端口,與真空泵連用可以使基片和熱板的緊密接觸,提高導熱性。
P.I.D溫度控制,數字顯示,可編程。
高亮度4位數字LED顯示溫度
控溫顯示jinque到0.1位(℃/℉)
真空度>15”;(需要配置一臺小型真空泵)
外觀尺寸:350×290×100mm。
熱板配置直徑2.5mm頂針,升起高度<=3mm;
3根頂針,外接圓內徑約75mm;
配置定時器,可編程定時控制真空和頂針。
應用:
固化光刻膠,前烘,堅膜等
固化環(huán)氧塑脂
其它需要高精度控溫的場合
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