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簡(jiǎn)要描述:OS勻膠旋涂?jī)x(英文名:Spin Coaterr & Spin Processor)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜行業(yè)俗稱(chēng):勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),旋轉(zhuǎn)涂敷儀,涂膜機(jī),涂布機(jī)
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旋涂是一種廣泛使用的多功能技術(shù),用于將材料沉積到基材上,從而獲得可控的薄膜厚度。該款OS勻膠旋涂?jī)x價(jià)格實(shí)惠,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,占地空間小,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。該款OS勻膠旋涂?jī)x采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的托盤(pán),無(wú)需真空泵或充氮?dú)?,就能達(dá)到很好的旋涂效果;內(nèi)置調(diào)整水平裝置,大限度的保證旋涂均勻;可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
為什么要無(wú)真空?
市場(chǎng)上的大多數(shù)使用真空泵在旋轉(zhuǎn)時(shí)保持基材。 與其他產(chǎn)品不同的是,該款采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的托盤(pán),襯底通過(guò)切入聚丙烯托盤(pán)的凹槽保持在適當(dāng)?shù)奈恢?,使多余的涂層材料被排出?/span>
該款托盤(pán)將基材固定在適當(dāng)位置,無(wú)需真空,確保其穩(wěn)定性。
真空吸盤(pán)很可能會(huì)造成較薄的基材向內(nèi)翹曲,影響涂層的均勻性,降低設(shè)備的質(zhì)量和性能。 而這款無(wú)真空吸盤(pán)可確保您的基材平整無(wú)損,即使它們是柔性基材,也能保持均勻的薄膜分布。
與常規(guī)旋涂?jī)x相比,該款無(wú)真空旋涂?jī)x能夠?qū)崿F(xiàn)均勻的薄膜分布。
真空旋涂?jī)x只能安裝在有真空管路的地方,固定在保留設(shè)置的位置上,不用時(shí)會(huì)占用空間。 由于不需要真空管線(xiàn),該款旋涂?jī)x可以安裝在任何位置,可以在臺(tái)面上,通風(fēng)櫥和手套箱中使用,只需一個(gè)電源插座。
大多數(shù)旋涂?jī)x都被真空泵的隱藏成本所困擾,這些真空泵通常需單獨(dú)報(bào)價(jià)。 真空泵容易斷裂,造成昂貴的維修費(fèi)用,延誤實(shí)驗(yàn)進(jìn)程。 這主要是由于過(guò)量的溶劑被吸入真空管路中,損壞了內(nèi)部元件。使用該款無(wú)真空旋涂?jī)x可以減少短期和長(zhǎng)期成本,為您提供啟動(dòng)旋涂所需的一切 - 以1950英鎊的全包價(jià)格。 我們還提供免費(fèi)的1年保修服務(wù),以便在需要維修的情況下盡快恢復(fù)設(shè)備正常工作。
產(chǎn)品特點(diǎn):
• 體積小巧:可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,基座面積僅為22.5 x 17 cm。
• 易安裝:開(kāi)機(jī)即用(無(wú)需真空泵、充氮?dú)?/span>)。
• 智能程序化控制:旋轉(zhuǎn)速度從120到6000 rpm可編程,可對(duì)不同基片進(jìn)行旋涂(從緩慢干燥結(jié)晶到超薄膜)。此外,內(nèi)置的控制系統(tǒng)有10個(gè)獨(dú)立的用戶(hù)配置文件 - 每個(gè)配置文件可以節(jié)省10個(gè)程序,可達(dá)50個(gè)步驟。
• 旋涂質(zhì)量好:內(nèi)置的水平儀和可調(diào)節(jié)支腳可確保平面旋轉(zhuǎn)軸,無(wú)真空吸盤(pán)可防止在薄基材上發(fā)生翹曲,這兩個(gè)因素帶來(lái)了*的旋涂效果。
• 低成本、低維修率:使用真空的旋涂系統(tǒng)容易損壞,修理程序復(fù)雜。 而該款需要移動(dòng)部件很少,無(wú)需真空,并且質(zhì)保1年,節(jié)省很多保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。
• 耐酸堿防腐蝕的防護(hù)材質(zhì):堅(jiān)固的不銹鋼外殼,鋼化玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和托盤(pán),在各種苛刻條件下仍能保證設(shè)備正常運(yùn)行。
• 安全:24 V直流電源供電,不使用高電壓或電源。 防止溶劑濺出、程序篡改,采用智能程序控制自動(dòng)聯(lián)鎖,保證設(shè)備運(yùn)行安全。
技術(shù)參數(shù):
用戶(hù)配置文件:10個(gè);
程序:每個(gè)用戶(hù)配置文件上有10個(gè)程序,每個(gè)程序多達(dá)50個(gè)步驟;
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<2%;
旋轉(zhuǎn)速度:120 - 6000 RPM;
旋涂時(shí)間:1 - 1000 sec;
電源:DC 24V 2A,通過(guò)100-240v 50 / 60Hz電源適配器;
聯(lián)鎖:工作狀態(tài)蓋子自動(dòng)鎖止功能;
尺寸:225 x 170 x 132 mm;
材質(zhì):PP腔體,不銹鋼外殼,鋼化玻璃蓋。
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