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    當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng)  >  顯影機  >  UNIXX S 20 D顯影機

    顯影機

    簡要描述:UNIXX S 20 D 顯影機是應(yīng)用于顯影工藝的設(shè)備,適用的基板尺寸最大到8英寸的圓片
    和最大到6英寸x6英寸的方片。新設(shè)計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝均勻
    性和重復(fù)性,設(shè)備也可用于清洗和旋干工藝。
    UNIXX S 20 D的落地式柜體經(jīng)專門設(shè)計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適
    用于實驗室開展科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。設(shè)備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且
    可以升級成自動化的系統(tǒng)

    • 產(chǎn)品型號:UNIXX S 20 D
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2024-05-17
    • 訪  問  量:1525

    詳細介紹

    特點 

    可處理基板尺寸最大6"x 6" (150 x 150mm) 方片或 ? 8" (? 200mm)圓片 

    采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

    真空安全聯(lián)鎖功能 

    觸摸屏輸入

    顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

    可編程速度和加速度 

    馬達轉(zhuǎn)速最大可達10000轉(zhuǎn)/

    易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán) 

    網(wǎng)絡(luò)接口 

    USB接口 

    選項 

    ? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

    ? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

    ? 熱流體線,最高80°C

    ? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

    ? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán)

    ? 熱板

    ? 熱板接近式烘烤, 手動可調(diào)接近距離 

    ? 可編程接近距離熱板

    ? 真空泵 

    ? 附加HMDS熱板 

    性能參數(shù) 

    觸摸屏程序輸入

    ? 程序數(shù): 100 

    ? 程序步數(shù): 50 

    ? 最長單步時間: 999

    ? 單步時間分辨率: 0.1

    旋轉(zhuǎn)馬達

    ? 旋轉(zhuǎn)速度: 最高 10.000 轉(zhuǎn)/分鐘

    ? 轉(zhuǎn)速分辨率: 1轉(zhuǎn)/分鐘 

    ? 旋轉(zhuǎn)精度: ± 2 轉(zhuǎn)/分鐘

    ? 加速度: 最高 50,000 轉(zhuǎn)/分鐘/* *和基片重量有關(guān)

    熱板 

    ?溫度范圍: 最高 300°C

    ?溫度分辨率: 0.1°C

    ? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 

    動力需求

    ?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

    ? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

    ? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

    ? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm 

    設(shè)備外形(x x )

    ?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52") 

    ?帶水平調(diào)節(jié) 

    ?不銹鋼框架

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