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勻膠旋涂?jī)xM-SPIN 200是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂?jī)x適用于直徑大為8英寸的晶圓片,或大為6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動(dòng)工作,分配移動(dòng)托盤(pán),可定義數(shù)量。該勻膠旋涂?jī)x配備了頂蓋的聯(lián)鎖機(jī)制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂?jī)x包含一個(gè)內(nèi)置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個(gè)19英寸外部控件上。
SPIN-300勻膠旋涂?jī)x(英文名:Spin Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜 詳細(xì)介紹:勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater& Spin Processor) 行業(yè)俗稱(chēng):勻膠臺(tái)、勻膠機(jī)、旋涂?jī)x、涂膠機(jī)、鍍膜機(jī)、甩膠機(jī)
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